Piezostelltechnik in unterschiedlichen Integrationsstufen

Präzise Positionier-Lösungen können durchaus preisgünstig sein

In vielen Bereichen der Automatisierung ist "Gefühl" gefragt. Beispiele finden sich überall dort, wo fein justiert, also mit hoher Auflösung positioniert werden muss, oft auch noch mit hoher Dynamik oder Kraft. Anwendungen, die dies erfodern, sind z.B. Spaltbreiten-Einstellungen, das Cavity-Tuning in der Laseroptik sowie das Microscanning für Imagingverfahren. Ebenso dazu gehören Dispenser, Ventile für die Mikrodosierung, Pumpen in Medizintechnik und Biotechnologie sowie die Krafterzeugung in der Adaptonik oder bei Imprint-Verfahren.

Piezobasierte Positioniersysteme bieten hierfür ideale Voraussetzungen. Dabei überzeugen die hochpräzisen Hightech-Lösungen dank unterschiedlich hoher Integrationsstufen durch ein überraschend günstiges Preisleistungsverhältnis.

Wer einen höheren Integrationsaufwand nicht scheut oder aus technischen bzw. finanziellen Gründen lieber zu OEM-Produkten greift, kann heute selbst bei anspruchsvollen Positionieraufgaben die Investitionskosten vergleichsweise niedrig halten. Die Karlsruher Firma Physik Instrumente (PI) beispielsweise bietet jetzt gleich mehrere Hebelaktoren der PiezoMove-Serie (Bild) an, die im umfangreichen Produktprogramm die Integrationsstufe zwischen vorgespannten Stapelaktoren (Auslenkung bis etwa 100 µm) und kompletten, mehrachsigen Stelltischen abdecken.

Bei den Hebelaktoren sind die Piezoaktoren mechanisch in Festkörpergelenke eingebunden. Das verbessert die Führungsgenauigkeit; Verkippen oder seitlicher Versatz sind nicht zu befürchten. Gleichzeitig übersetzen die Festkörpergelenke die Auslenkung des Piezos in größere Stellwege. Im Gegensatz zu Nanopositioniersystemen bauen Hebelaktoren sehr klein und lassen sich dadurch gut integrieren. Ihnen sind jedoch aus genau diesen Platzgründen bei der Auswahl der Sensoren und der Umsetzung parallelkinematischer mehrachsiger Lösungen Grenzen gesetzt.

Die Hebelaktoren der PiezoMove-Serie decken in drei Bauvarianten unterschiedliche Anwenderwünsche ab: Hebelaktoren vom Typ P-601 haben Stellwege bis 400 ?m und eine hohe Positioniergenauigkeit bei sehr kompakten Abmessungen. Die P-602-Hebelaktoren arbeiten mit großen Stellwegen bis 1 mm. Da das Design aüßerst flexibel ist, können hier zu Erhöhung der Steifigkeit und damit zur größeren Krafterzeugung Multilayer-Aktoren mit einer Grundfläche von 10 auf 10 mm eingesetzt werden. Die Hebelaktoren vom Typ P-603 schließlich erreichen Stellwege bis 500 µm und sind für eine besonders kostenoptimierte Herstellung in großen Stückzahlen ausgelegt. Aufgrund der Ansprechzeiten von wenigen Millisekunden und der Auflösung im Sub-Nanometerbereich eignen sie alle Baureihen sowohl für statische als auch dynamische Anwendungen.

Die ebenfalls bei allen Varianten zur Positionserfassung optional einsetzbaren Dehnmessstreifen-Sensoren (DMS) haben eine thermisch driftfreie Vollbrückenschaltung für optimale Temperaturstabilität. Dadurch wird eine Linearität von 99,8 % erreicht. Neben den Standardmodellen aus Stahl sind auf Anfrage auch Ausführungen aus Invar sowie nicht-magnetische Versionen lieferbar und natürlich gibt es die passenden für den OEM-Einsatz konzipierten Verstärkerelektroniken und Motion-Controller, was die Kosten des Gesamtsystems niedrig hält.

Treibende Kraft der Hebelaktoren sind PICMA-Multilayeraktoren von PI Ceramic, einem Tochterunternehmen von PI. Sie sind nicht wie sonst üblich polymerisoliert, sondern vollkeramisch ummantelt. Das schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. Dadurch sind sie deutlich zuverlässiger und langlebiger als konventionelle Piezoaktoren. Die zuverlässigen Multilayer werden auch in den kompletten Nanopositioniersystemen des gleichen Herstellers eingesetzt. Dass diese oft zu Unrecht als teuer gelten, beweisen die kompakten Stelltische der Serie P-713 bzw. P-714. Sie werden heute in großen Stückzahlen für Biometrie, Medizintechnik und Bildverarbeitung produziert und können dadurch ebenfalls durch ein ausgesprochen gutes Preis-/ Leistungsverhältnis überzeugen.

Text: Dipl.-Phys. Steffen, Leiter "Markt und Produkte" bei Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, und Ellen-Christine Reiff , M.A., Redaktionsbüro Stutensee

In den letzten vier Jahrzehnten hat sich PI mit Stammsitz in Karlsruhe zum führenden Hersteller von Nanopositioniertechnik entwickelt. Als privat geführtes Unternehmen mit gesundem Wachstum, über 500 Angestellten weltweit und einer flexiblen, vertikal integrierten Organisation, kann PI fast jede Anforderung aus dem Bereich innovativer Präzisions-Positioniertechnik erfüllen. Alle Schlüsseltechnologien werden im eigenen Haus entwickelt. Dadurch kann jede Phase vom Design bis hin zur Auslieferung kontrolliert werden: die Präzisionsmechanik und Elektronik ebenso wie die Positionssensorik und die Piezokeramiken bzw. -aktoren. Letztere werden bei der Tochterfirma PI Ceramic gefertigt. In allen wichtigen Märkten ist PI mit eigenen Vertriebs- und Serviceniederlassungen vertreten. Außerdem unterhält das Unternehmen Testausrüstungen für Nanometrologie auf drei Kontinenten. PI Shanghai und USA haben darüber hinaus Entwicklungs- und Fertigungsressourcen, die vor Ort eine schnelle Reaktion auf kundenspezifische Anforderungen ermöglichen.
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Sandra Ebler
Auf der Römerstr. 1
76228
Karlsruhe/Palmbach
s.ebler@pi.ws
+49 721/4846-240
http://pi.ws

Präzise Positionier-Lösungen können durchaus preisgünstig sein

In vielen Bereichen der Automatisierung ist "Gefühl" gefragt. Beispiele finden sich überall dort, wo fein justiert, also mit hoher Auflösung positioniert werden muss, oft auch noch mit hoher Dynamik oder Kraft. Anwendungen, die dies erfodern, sind z.B. Spaltbreiten-Einstellungen, das Cavity-Tuning in der Laseroptik sowie das Microscanning für Imagingverfahren. Ebenso dazu gehören Dispenser, Ventile für die Mikrodosierung, Pumpen in Medizintechnik und Biotechnologie sowie die Krafterzeugung in der Adaptonik oder bei Imprint-Verfahren.

Piezobasierte Positioniersysteme bieten hierfür ideale Voraussetzungen. Dabei überzeugen die hochpräzisen Hightech-Lösungen dank unterschiedlich hoher Integrationsstufen durch ein überraschend günstiges Preisleistungsverhältnis.

Wer einen höheren Integrationsaufwand nicht scheut oder aus technischen bzw. finanziellen Gründen lieber zu OEM-Produkten greift, kann heute selbst bei anspruchsvollen Positionieraufgaben die Investitionskosten vergleichsweise niedrig halten. Die Karlsruher Firma Physik Instrumente (PI) beispielsweise bietet jetzt gleich mehrere Hebelaktoren der PiezoMove-Serie (Bild) an, die im umfangreichen Produktprogramm die Integrationsstufe zwischen vorgespannten Stapelaktoren (Auslenkung bis etwa 100 µm) und kompletten, mehrachsigen Stelltischen abdecken.

Bei den Hebelaktoren sind die Piezoaktoren mechanisch in Festkörpergelenke eingebunden. Das verbessert die Führungsgenauigkeit; Verkippen oder seitlicher Versatz sind nicht zu befürchten. Gleichzeitig übersetzen die Festkörpergelenke die Auslenkung des Piezos in größere Stellwege. Im Gegensatz zu Nanopositioniersystemen bauen Hebelaktoren sehr klein und lassen sich dadurch gut integrieren. Ihnen sind jedoch aus genau diesen Platzgründen bei der Auswahl der Sensoren und der Umsetzung parallelkinematischer mehrachsiger Lösungen Grenzen gesetzt.

Die Hebelaktoren der PiezoMove-Serie decken in drei Bauvarianten unterschiedliche Anwenderwünsche ab: Hebelaktoren vom Typ P-601 haben Stellwege bis 400 ?m und eine hohe Positioniergenauigkeit bei sehr kompakten Abmessungen. Die P-602-Hebelaktoren arbeiten mit großen Stellwegen bis 1 mm. Da das Design aüßerst flexibel ist, können hier zu Erhöhung der Steifigkeit und damit zur größeren Krafterzeugung Multilayer-Aktoren mit einer Grundfläche von 10 auf 10 mm eingesetzt werden. Die Hebelaktoren vom Typ P-603 schließlich erreichen Stellwege bis 500 µm und sind für eine besonders kostenoptimierte Herstellung in großen Stückzahlen ausgelegt. Aufgrund der Ansprechzeiten von wenigen Millisekunden und der Auflösung im Sub-Nanometerbereich eignen sie alle Baureihen sowohl für statische als auch dynamische Anwendungen.

Die ebenfalls bei allen Varianten zur Positionserfassung optional einsetzbaren Dehnmessstreifen-Sensoren (DMS) haben eine thermisch driftfreie Vollbrückenschaltung für optimale Temperaturstabilität. Dadurch wird eine Linearität von 99,8 % erreicht. Neben den Standardmodellen aus Stahl sind auf Anfrage auch Ausführungen aus Invar sowie nicht-magnetische Versionen lieferbar und natürlich gibt es die passenden für den OEM-Einsatz konzipierten Verstärkerelektroniken und Motion-Controller, was die Kosten des Gesamtsystems niedrig hält.

Treibende Kraft der Hebelaktoren sind PICMA-Multilayeraktoren von PI Ceramic, einem Tochterunternehmen von PI. Sie sind nicht wie sonst üblich polymerisoliert, sondern vollkeramisch ummantelt. Das schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. Dadurch sind sie deutlich zuverlässiger und langlebiger als konventionelle Piezoaktoren. Die zuverlässigen Multilayer werden auch in den kompletten Nanopositioniersystemen des gleichen Herstellers eingesetzt. Dass diese oft zu Unrecht als teuer gelten, beweisen die kompakten Stelltische der Serie P-713 bzw. P-714. Sie werden heute in großen Stückzahlen für Biometrie, Medizintechnik und Bildverarbeitung produziert und können dadurch ebenfalls durch ein ausgesprochen gutes Preis-/ Leistungsverhältnis überzeugen.

Text: Dipl.-Phys. Steffen, Leiter "Markt und Produkte" bei Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, und Ellen-Christine Reiff , M.A., Redaktionsbüro Stutensee

In den letzten vier Jahrzehnten hat sich PI mit Stammsitz in Karlsruhe zum führenden Hersteller von Nanopositioniertechnik entwickelt. Als privat geführtes Unternehmen mit gesundem Wachstum, über 500 Angestellten weltweit und einer flexiblen, vertikal integrierten Organisation, kann PI fast jede Anforderung aus dem Bereich innovativer Präzisions-Positioniertechnik erfüllen. Alle Schlüsseltechnologien werden im eigenen Haus entwickelt. Dadurch kann jede Phase vom Design bis hin zur Auslieferung kontrolliert werden: die Präzisionsmechanik und Elektronik ebenso wie die Positionssensorik und die Piezokeramiken bzw. -aktoren. Letztere werden bei der Tochterfirma PI Ceramic gefertigt. In allen wichtigen Märkten ist PI mit eigenen Vertriebs- und Serviceniederlassungen vertreten. Außerdem unterhält das Unternehmen Testausrüstungen für Nanometrologie auf drei Kontinenten. PI Shanghai und USA haben darüber hinaus Entwicklungs- und Fertigungsressourcen, die vor Ort eine schnelle Reaktion auf kundenspezifische Anforderungen ermöglichen.
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